BRANCHENERFAHRUNG

Seit Ende der 1990er Jahre beliefert Servotronix Kunden in der Halbleiterindustrie. Unsere Servoantriebe kommen in verschiedenen Geräten zur Bearbeitung von Wafern einschließlich CMP-Maschinen (Chemical Mechanical Planarization) zum Einsatz. Hersteller von Wafer-Handhabungsrobotern gehören zu unseren wichtigsten Kunden. Sie schätzen Servotronix-Produkte mit geringen Abmessungen bei erweiterter Funktionalität.

ANWENDUNGEN
Halbleiter

Halbleiter

Die Fertigung von Halbleiterbauelementen beinhaltet mehrere Verfahrensschritte, in denen elektronische Schaltungen auf einem Wafer aus Halbleitermaterial hergestellt werden. Die Fertigung erfolgt in spezialisierten, als Wafer-Fabs bezeichneten Produktionsstätten. Mithilfe von Material-Handlingsystemen werden die Wafer in den Fabs in Behältern, sogenannten FOUPS, transportiert. Roboter für das Waferhandling transportieren die Wafer aus den FOUPs in die Verarbeitungsmaschinen und nehmen sie nach der Verarbeitung wieder heraus. Mithilfe von Wafer-Dicing-Maschinen werden die auf den Wafern erstellten Schaltkreise zu Chips vereinzelt. Wire-Bonding-Maschinen sorgen für die Verdrahtung der Anschlüsse auf den Chips mit den Chip-Package-Anschlüssen. Eine hochpräzise Bewegungssteuerung ist entscheidend bei der Vermeidung von Wafer-Fehlern sowie bei der Maximierung des Durchsatzes bei der Wafer-Verarbeitung.

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